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可調(diào)微動工作臺機(jī)構(gòu)
該機(jī)構(gòu)三大部分：下基座微調(diào)臺、上基座微調(diào)臺和CCD調(diào)整機(jī)構(gòu)。
其中下基座微調(diào)臺機(jī)構(gòu)包括：±2mm x軸微動臺，±2mm y軸微動臺，±5°繞z軸轉(zhuǎn)動臺；
上基座包括：0~50mm、帶數(shù)顯光柵尺(長度分辨率為1μm)的 z軸微動臺；
CCD調(diào)整機(jī)構(gòu)包括兩套獨(dú)立的三軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)±10mm的z軸位移、±10μm的x 軸位 移，±10μm的y軸位移。
設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
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序 號 |
名 稱 |
產(chǎn)品規(guī)格 |
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1 |
X軸微動臺 |
±2mm |
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2 |
Y軸微動工作臺 |
±2mm |
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3 |
z軸微動工作臺 |
整體量程：0-50mm，在0~3mm范圍內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)局部微調(diào)，分辨率為1μm |
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4 |
thet軸微動工作臺 |
±5° |
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5 |
上基座支撐板 |
246×132×100(10mm厚） |
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6 |
下基座支撐板 |
304×308×15 |
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7 |
CCD支撐板 |
z軸向微調(diào)：±10mm |
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8 |
x軸向微調(diào)：±10mm |
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9 |
y軸向微調(diào)：±10mm |
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10 |
支撐立柱 |
Φ20×280mm |
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11 |
支撐底板 |
480×700×10 |
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12 |
數(shù)顯光柵尺 |
JCXE1-100（ 精度：1μm行程：100mm） |
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