1、 三維工作臺：

            1.1  x行程100mm（電動手動可選）；重復測量精度0.005mm；

            1.2  y軸行程200mm（測量范圍：200mm（標配）），通過光柵尺進行長度測量，電動；測量精度：0.01mm，重復測量精度0.005mm，光柵尺分辨率為0.001mm；

                            1.3  z軸120mm（手動），重復精度0.02mm。

2、 顯微系統

                            2.1 顯微物鏡工作距離175mm；

                            2.2 系統總放大倍數：90倍左右；

                            2.3  CCD及圖像采集：

                                    a.  500萬像素，1/2.5”，USB接口；

                                    b. 150萬像素，1/4”，PCI接口。

                            2.4  高亮度環形LED照明，亮度可調。

3、 可調高度三腳架

            3.1 升降范圍400mm；

            3.2  配移動腳輪、調平螺旋。